Tartalomjegyzék:
Meghatározás - Mit jelent a nanolitográfia?
A nanolitográfia a nanotechnológia egyik ága és a minták mikroszkopikus szintű nyomtatására, írására vagy maratására szolgáló eljárás megnevezése hihetetlenül kicsi szerkezetek létrehozásához. Ezt a folyamatot általában kisebb és gyorsabb elektronikus eszközök, például mikro / nanochip és processzor létrehozására használják. A nanolitográfiát elsősorban a technológia különböző területein használják, az elektronikától az orvosbiológiáig.A Techopedia magyarázza a nanolitográfiát
A nanolitográfia egy széles kifejezés, amely a különböző közegeken nanoméretű minták létrehozására szolgáló különféle folyamatok leírására szolgál, amelyek közül a leggyakoribb a félvezető anyag szilícium. A nanolitográfia fõ célja az elektronikai eszközök zsugorodása, amely lehetõvé teszi, hogy több elektronikus alkatrészt kisebb helyekre tömörítsenek, azaz olyan kisebb integrált áramkörök, amelyek kisebb eszközöket eredményeznek, amelyek gyorsabb és olcsóbb gyártása, mivel kevesebb anyag szükséges. Ez növeli a teljesítményt és a válaszidőt is, mivel az elektronoknak csak nagyon kis távolságot kell megtenniük.
A nanolitográfiában alkalmazott technikák a következők:
- Röntgen litográfia - Proximity nyomtatáson keresztül valósul meg, és közel-közeli röntgen sugarakra támaszkodik a Fresnel diffrakcióban. Ismert, hogy optikai felbontását 15 nm-re terjeszti.
- Kettős mintázat - Olyan módszer, amellyel a litográfiai folyamat hangmagasságának felbontását növelhetik, további mintákat nyomtatva ugyanabban a rétegben a már nyomtatott minták szóközei között.
- Elektronsugaras direkt írású (EBDW) litográfia - A litográfia során leggyakrabban használt eljárás, amelynek során elektronnyalábot használnak minták létrehozására.
- Extrém ultraibolya (EUV) litográfia - Az optikai litográfia egy olyan formája, amely ultrahang rövid fényhullámhosszúságot, 13, 5 nm-t használ.
